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1、光解
激光產生的激光可以通過光學系統(tǒng)的凝聚實現(xiàn)高能量。聚焦后，激光束可以在焦點附近產生數(shù)千度甚至數(shù)萬的高溫，從而使物體表面的附著物瞬間汽化或分解。
2、光剝離
物體表面的附著通過激光的作用被加熱和膨脹。當物體表面的膨脹力大于基體與基體之間的膨脹力時，物體表面的附著物將脫離物體表面。
3、光振動
具有較高的頻率和功率的激光沖擊物體表面，在物體表面產生超聲波，硬返回超聲波表面的影響下，干擾波，產生高能量共振波，微小的灰塵破裂，破碎，從襯底的表面材料，當對象和激光束的吸收差異系數(shù)表面的附著，或加熱后會產生有毒物質表面的附著情況等，可用于清洗方法。
